霍尼韦尔/Honeywell_数字式气体流量传感器HAF系列

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霍尼韦尔/Honeywell数字式气体质量流量传感器HAF系列 ±50~±750SCCM

霍尼韦尔 Zephyr™ HAF 系列传感器为指定的满量程流量范围及温度补偿范围内读取气流数据提供一个数字界面。隔热加热器和温度感应元件可帮助传感器对空气流或其他气流做出快速响应。这些传感器根据热传递原理测量气流的质量流量。它们由含有热电阻微桥的微机电传感系统 (MEMS) 组成，薄膜铂电阻沉积于氮化硅薄膜上。MEMS 传感芯片位于精密设计的气流通道内，提供对于流量的可重复响应。

产品特点
• 总误差带 (TEB) 低至 ±0.25 %FSS
• 快速响应时间
• 范围广泛的气体质量流量检测
• 低压降
• 12 位高分辨率
• 基于 ASIC 的 I2C 数字输出兼容性
产品应用
• 麻醉机
• 呼吸机
• 制氧机
• 分析仪器
• 病人监护系统（呼吸监测）
• 暖通空调过滤器
• 燃料电池控制装置

工作特性：

特性	参数值
供电电压	3.3Vdc ±10%；5.0Vdc±10%
供电电流	最大16mA
工作温度范围	-20~+70℃
补偿温度范围	0~50℃
零点精度	满量程的 ±0.02%
响应时间	1ms（典型值）
分辨率	最小12位
启动时间	17ms
预热时间	30ms
校准介质	氮气
总线标准	I2C，快速模式（最快至400 KHZ）
零点稳定性	最大偏移：满量程的±0.01%

绝对最大额定参数：

特性	参数值
供电电压	-0.3VDC-6.0VDC
输出引脚电压	-0.3V-输入电压
储存温度范围	-40~+125℃
最大流量变化	5.0 SLPM/S
最大共模压力	25PSI
最大流量	10 SLPM

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